精密机械加工设备是用于制造或加工具有高度精度要求的零部件或产品的设备。以下是一些常见的精密机械加工设备：

　　1. 数控机床：包括数控车床、数控铣床、数控磨床等，通过计算机程序控制机床的运动和加工过程，实现高精度的自动加工。

　　2. 飞秒激光加工系统：利用超短激光脉冲进行材料切割、打孔、雕刻等精密加工，具有高精度的优点。

　　3. 线切割机：采用金属丝或线电极进行电火花加工，可以实现高精度的零件切割和形状加工。

　　4. 精密磨床：用于平面磨削、外圆磨削、内圆磨削等工艺，能够实现高度精密的零件加工。

　　5. 纳米加工设备：包括原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）等，可用于纳米级别的材料加工、表面修复和分析。

　　6. 去离子设备：用于去除零件表面的离子污染物，提高加工质量和精度。

　　7. 真空设备：如真空炉、真空包装机等，可以在无氧、无尘、低温或特殊气氛条件下进行精密加工。