表面粗糙度要求

精密零件加工的表面粗糙度通常要求在低的数值范围内。在一些高精度的机械零件中，如航空发动机叶片、精密模具等，表面粗糙度 Ra 值可能要求达到 0.1 - 0.8μm。这是因为较低的表面粗糙度可以减小零件表面的摩擦系数，摩擦力，提高零件的耐磨性。例如，在液压系统的精密阀芯和阀套加工中，低粗糙度的表面能够有效防止油液泄漏，保证液压系统的准确控制。

对于一些光学零件，如高精度透镜、反射镜等，表面粗糙度要求更为严格，可以达到级。这是因为光学零件表面的微小粗糙度会影响光线的反射和折射，从而光学系统的成像质量。例如，在光刻机的光学镜片加工中，表面粗糙度必须控制在极低水平，以确保芯片制造过程中的高精度光刻成像。

表面纹理要求

精密零件表面纹理需要具有良好的一致性和方向性。在一些需要良好密封性能的零件中，如汽车发动机的气缸垫，其表面纹理应设计为有利于密封的形式，通常是细密且均匀分布的纹理，这样可以增加密封接触面积，提高密封。

对于有相对运动的精密零件，如高速轴承的内外圈和滚动体，其表面纹理方向应与运动方向相适应，以减小运动阻力和磨损。例如，通过精密磨削加工，使轴承滚动体表面纹理呈圆周方向，能够保证滚动体在高速旋转过程中更加顺畅，并且能够均匀地分布润滑脂，延长轴承的使用。

表面残余应力要求

精密零件加工后，表面应尽量减少残余应力。残余应力可能导致零件在使用过程中发生变形，影响零件的尺寸精度和形状精度。例如，在精密机械加工后的金属零件中，如果表面残余应力过大，当零件受到外部载荷或者温度变化时，就可能会出现翘曲变形。在航空航天领域的精密铝合金结构件加工中，必须通过合适的加工和后处理方法来控制表面残余应力，以确保零件在复杂的飞行环境下的尺寸稳定性。

对于一些承受高应力的精密零件，如高速切削刀具，表面残余压应力是有益的。适当的残余压应力可以提高零件的疲劳强度和抗裂纹扩展能力。通过表面喷丸、滚压等可以在零件表面引入一定的残余压应力，从而增强零件的耐用性。

表面完整性要求

精密零件的表面应避免出现加工缺陷，如裂纹、划痕等。在电子芯片制造过程中的硅片加工，微小的表面裂纹都可能导致芯片性能下降失效。加工过程中需要通过严格的工艺控制和质量来确保表面完整性。

表面的金相组织也需要符合要求。对于一些经过热处理的精密零件，如淬火后的精密齿轮，其表面的金相组织应均匀一致，避免出现局部软点或硬点，以保证齿轮在啮合过程中的强度和耐磨性。